[发明专利]一种高导热石墨烯复合薄膜及其制备方法

摘要

本发明属于微电子领域，提供了一种高导热石墨烯复合薄膜及其制备方法，包括：将氧化石墨烯和碳纳米管在溶剂中混合均匀，在密封条件下进行水热反应，得到水凝胶；将所述水凝胶进行冷冻干燥，得到气凝胶；将所述气凝胶进行热压，形成薄膜；将所述薄膜进行退火、热处理，即得。本发明的方法能低成本且有效改善碳纳米管的分散，水热反应形成三维的石墨烯和碳纳米管的交联结构。将气凝胶通过热压变成薄膜样品，这种方式制备出的薄膜样品经热处理后，依然保持良好的机械性能。制备的薄膜厚度是几微米到几百微米不等，也是制备厚膜的一种有效方法。经过实验分析，电导率，热导率能有效提升远高于普通方法制备的复合薄膜。