[发明专利]一种基于扫描探针显微镜的电场扰动表征方法及装置在审
| 申请号： | 202211586815.3 | 申请日： | 2022-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN116243021A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张凤元;刘凯鑫;黄博远;李江宇 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00;G06T11/00;G06T5/00 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 曾敬 |
| 地址： | 518055 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于扫描探针显微镜的电场扰动表征方法和装置，利用扫描探针显微镜、外接电源和Matlab原位表征截面样品在不同电压下电势分布，通过进一步公式计算、数据成图等方式得到表面电场分布及电场扰动结果，是一种具有高空间分辨率，能够直观表征储能电介质电场扰动的新技术，对于理解储能电介质击穿失效机制有重大意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描 探针 显微镜 电场 扰动 表征 方法 装置 | ||
【主权项】：
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