[发明专利]检测窗抛光垫沟槽的加工方法、抛光层及抛光垫在审
| 申请号： | 202211568505.9 | 申请日： | 2022-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN115837633A | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 杨波 | 申请（专利权）人： | 上海芯谦集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/22;B24B37/26 |
| 代理公司： | 上海格联律师事务所 31412 | 代理人： | 夏海波 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区自由贸易试*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明检测窗抛光垫沟槽的加工方法，包括如下步骤：步骤一，加工刀具从抛光垫的抛光层的非检测窗区域开始雕刻凹槽，形成基础沟槽；步骤二，当加工刀具接近检测窗时，加工刀具逐渐抬起，直至离开抛光层，形成检测沟槽；其中检测沟槽为倾斜结构。与现有技术相比，本发明有益效果在于：在进行检测窗抛光垫的沟槽加工过程中，在加工刀具跳窗口时，加工刀具起刀点集合面(检测沟槽表面)与抛光层底面之间的夹角≤80度时，加工刀具离开抛光垫时不会产生毛刺，免除了人工打磨毛刺的工序，提高了加工效率，有效地解决了毛刺的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 抛光 沟槽 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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