[发明专利]一种挑担式两级屏蔽旋涡泵

摘要

本发明涉及芯片半导体制程设备技术领域，且公开了一种挑担式两级屏蔽旋涡泵，所述电机的两侧分别固定连接有首级泵和次级泵，所述首级泵和次级泵内分别装配有前旋涡叶轮和后旋涡叶轮，所述前旋涡叶轮和后旋涡叶轮分别与转子轴的两端传动连接，所述电机内设有连通两端的电机腔，首级泵进口、首级泵出口、电机腔、次级泵进口、次级泵出口构成流道。该挑担式两级屏蔽旋涡泵不仅具有尺寸小、扬程大、泵进出温升较低、温度控制精准、流量稳定等优点，还能随时测量泵的效率，使相关参数设置更加精准，有利于芯片半导体温控装置系统进行精确的温度控制，提高芯片制程良品率。