[发明专利]一种微型变刚度悬臂梁结构、制备方法及传感器在审
| 申请号： | 202211538548.2 | 申请日： | 2022-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN115856360A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 苗斌;李加东;徐瞻;顾智琦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 王广浩 |
| 地址： | 215125 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型变刚度悬臂梁结构、制备方法及传感器，本发明本发明微型变刚度悬臂梁的制备方法可实现变刚度悬臂梁结构的精确制备，可通过调节前后悬臂梁结构的尺寸来调节刚度，以调节完整悬臂梁结构的动态检测范围和灵敏度，可以有效解决现有技术中仅通过改变单级悬臂梁的尺寸无法实现光反射式传感器灵敏度与量程两项指标的双提升的问题。通过本发明中的微纳加工方式可实现变刚度微悬臂梁的微型化、按需可控制备，进一步拓宽了悬臂梁传感器的应用范围并为光反射式传感器微型化奠定坚实基础。本发明可通过改变现有变刚度悬臂梁结构，如在悬臂顶部制备针尖结构，进一步拓展应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 刚度 悬臂梁 结构 制备 方法 传感器 | ||
【主权项】：
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