[发明专利]异质异构集成光电微系统及其制作方法有效
| 申请号： | 202211512709.0 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN115542458B | 公开（公告）日： | 2023-02-07 |
| 发明（设计）人： | 王皓岩;刘杰;叶雨农;李苗;汪志强;李嵬;戴扬 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司信息科学研究院 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/42 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 100041 北京市石*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及光电通信系统领域，提供一种异质异构集成光电微系统及其制作方法，光电微系统中的半导体激光器通过键合结构键合于晶圆；调制器、探测器、无源光子器件、阵列光纤集成于晶圆，调制器通过第一波导分别与半导体激光器和无源光子器件相连，探测器通过第二波导分别与无源光子器件和阵列光纤相连；调制器和探测器上设置有第一球栅阵列；第一球栅阵列上设置有硅中介层，硅中介层中设置有分别与第一球栅阵列电连接的重布线层和硅通孔；硅中介层上设置有分别与重布线层和硅通孔电连接的第二球栅阵列；第二球栅阵列上设置有分别与其电连接的电驱动电路和跨阻放大电路。本公开有效克服了现阶段光电系统体积大、功耗高、灵活性及可靠性差等缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 异质异构 集成 光电 系统 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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