[发明专利]基于压电薄膜的单端输入多端输出的无源电子回转器在审
| 申请号： | 202211459754.4 | 申请日： | 2022-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN115765672A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 吴涛;刘康福 | 申请（专利权）人： | 上海科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/00 | 分类号： | H03H9/00;H03H9/17;H03H9/22;H03H9/13;H03H9/135 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;徐颖 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于压电薄膜的单端输入多端输出的无源电子回转器，包括横向作用力结构和纵向作用力结构，包括压电薄膜构成的压电层、激励线圈和接收电极、衬底、刻蚀孔；该压电层经由锚点悬挂在衬底上，压电层下方为衬底凹槽构成的空腔；空腔上压电层四周为刻蚀孔；刻蚀孔和空腔用于限定的作用力区域。压电层的材质为的氮化铝、铌酸锂、钽酸锂压电材料中一种或数种，激励线圈和感应电极均为金属，激励线圈在磁电作用下产生的作用力在压电层进行转化，接收电极对机械力转换的电能进行收集。本发明无源电子回转器尺寸与声学滤波器相当，为数十微米至数千微米，实现了微型化；不需要外部供电，非线性效应极低，实现了无源、高度非线性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 压电 薄膜 输入 多端 输出 无源 电子 回转 | ||
【主权项】：
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