[发明专利]一种非接触式超精密轮廓扫描检测装置在审
| 申请号： | 202211441504.8 | 申请日： | 2022-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN115854908A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 王刚 | 申请（专利权）人： | 成都特密思科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人： | 司晓雨 |
| 地址： | 610000 四川省成都市天府新区华阳街道*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非接触式超精密轮廓扫描检测装置，属于精密测量技领域。包括隔振平台、大理石基座、精密气浮转台、工件调整台、回转轴基准、X轴直线运动平台、Z轴直线运动平台、测头旋转台、补偿标准球、非接触式光学位移测头、X轴位移参考基准、Z轴位移参考基准、法布里－珀罗干涉位移传感器、主控制器、隔离罩。使用两个直线轴及一个回转轴实现测头沿被测轮廓法向的动态跟随对准，利用非接触式光学位移传感测头进行零件表面轮廓的非接触探测，使用多通道法布里－珀罗干涉位移传感器进行大量程位移及微位移的高精度测量，结合精密气浮转台实现轮廓快速回转扫描，结构简单，实现包括大斜率轮廓在内的精密零件面形的快速高效检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 精密 轮廓 扫描 检测 装置 | ||
【主权项】：
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