[发明专利]多晶硅生产用三氯氢硅复合精馏设备及精馏温控方法在审

专利信息
申请号: 202211364227.5 申请日: 2022-11-02
公开(公告)号: CN115888156A 公开(公告)日: 2023-04-04
发明(设计)人: 请求不公布姓名;请求不公布姓名;何永建;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;李鹏鹏;请求不公布姓名 申请(专利权)人: 宁夏润阳硅材料科技有限公司
主分类号: B01D3/14 分类号: B01D3/14;B01D3/42;C01B33/107
代理公司: 宁夏君创未来专利代理事务所(普通合伙) 64107 代理人: 周晓梅
地址: 753499 宁夏回族自治*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 一种多晶硅生产用三氯氢硅复合精馏设备及精馏温控方法,包括依次上下设置的上塔、下塔,下塔设置位于塔中的下物料入口、位于塔顶的下气相出口、位于塔釜的下液相出口、位于中上部的下液相入口,下塔还设置塔釜再沸装置;上塔设置位于塔中的上物料入口、位于塔顶的上气相出口、位于塔釜的上液相出口,上塔还设置塔顶回流装置,塔顶回流装置还设置采出口,用于采出纯度较高的三硅;下塔的下气相出口与上塔的上物料入口连接,上塔的上液相出口与下塔的下液相入口连接,该方案中物料只在两个塔内各自经过一次传质换热,在塔外部只经过塔顶一个冷凝,塔釜一次再沸,相态转化次数少、能耗降低至现有技术的60%。
搜索关键词: 多晶 生产 用三氯氢硅 复合 精馏 设备 温控 方法
【主权项】:
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