[发明专利]向大气中引出离子束的光束加工装置及其控制方法在审
| 申请号： | 202211349800.5 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN116263382A | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 元钟韩;姜元求;朴正锡;金锜焕;朴万真;李钟洙;卞仁宰;成明俊;郑流淙 | 申请（专利权）人： | 韩国电子机械融合技术院;查目科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 韩国首尔特别市芦原*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种向大气中引出离子束的光束加工装置，其包括：柱部，具有内部空间，在下端形成用于向外部释放生成于内部的离子束的光圈；O型圈，插入于在光圈的周围所形成的凹槽，以防止空气流入；试样台，用于以使离子束照射到试样的方式放置试样；狭缝，形成在光圈与O型圈之间，用于吸入空气或供给预设气体；以及处理器，使柱部向试样台的方向移动，以使光圈与试样相接触，通过狭缝吸入由O型圈、试样及光圈形成的区域内部的空气来提高区域的真空度，当离子束的加工完成时，使柱部向上部方向移动并通过狭缝向试样台的方向排出预设气体，从而能够进行离子束的精密加工并提高生产性。 | ||
| 搜索关键词： | 大气 引出 离子束 光束 加工 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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