[发明专利]镀膜设备的清洁方法与镀膜设备在审
| 申请号： | 202211338964.8 | 申请日： | 2022-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN115584475A | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 路新雨;王楠;王东;陈留杰;邓彬凌;翁东生 | 申请（专利权）人： | 富联科技（兰考）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 范旋锋 |
| 地址： | 475000 河南省开封市兰考县*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种镀膜设备的清洁方法与镀膜设备，镀膜设备包括溅镀室、冷冻机组及冷凝管，溅镀室包括待清洁腔体及内部的待清理膜层与清洁板。清洁方法为：冷凝管释放水分子，待清理膜层吸水膨胀；通入第一气体，电离为第一离子束，冲击使膜层破裂；通入第二气体，电离为第二离子束，冲击使膜层脱离形成待清理混合物；通入扰流气体，清洁板带动扰流气体与待清理混合物形成扰流，待清理混合物被吸附。本申请的清洁方法，利用待清理膜层的吸水性及热胀冷缩的特性，膜层破裂脱落形成待清理混合物，再使用具有黏性的清洁板旋转吸附待清理混合物，以清理镀膜设备内腔的膜层，提升镀膜设备的清洁度，且提高后续工件镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 清洁 方法 | ||
【主权项】：
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