[发明专利]晶体生长用坩埚的传动装置和晶体生长设备有效
| 申请号： | 202211338247.5 | 申请日： | 2022-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN115386949B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;朱亮;傅林坚;张俊;叶钢飞;倪军夫;吴虞超 | 申请（专利权）人： | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人： | 金丹丹 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请属于晶体生长技术领域。本申请公开了一种晶体生长用坩埚的传动装置，包括导轨座、提升架、坩埚轴、第一驱动机构和第二驱动机构；坩埚轴的外侧设有密封机构，密封机构连接至导轨座的顶部，密封机构包括壳体、导向件及密封件；壳体套设在坩埚轴的外侧，壳体与坩埚轴之间形成第一容纳空间和第二容纳空间，第二容纳空间与第一容纳空间连通，第一容纳空间设于第二容纳空间的上侧和下侧，密封件设于第一容纳空间中，导向件设于第二容纳空间中。本申请还公开了晶体生长设备，其包括上述传动装置。本申请提供的晶体生长用坩埚的传动装置采用机械密封机构代替了磁流体密封机构，降低了生产成本和漏硅后的维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 坩埚 传动 装置 设备 | ||
【主权项】：
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