[发明专利]一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法在审
| 申请号： | 202211329033.1 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN115657424A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 李天;全海洋;刘俊伯;朱咸昌;王建;胡松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 邓治平 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法，包括：沿照明系统照明方向依次是掩模、掩模台、大数值孔径光刻投影物镜、用于对准掩模图形经大数值孔径光刻投影物镜倍率缩放后在成像面的实际像点的夏克‑哈特曼传感器、承载夏克‑哈特曼传感器可六维运动的传感器运动台和用于测量对准位置坐标信息并返回对准位置三维坐标的干涉仪测量系统。通过传感器运动台使得夏克‑哈特曼传感器对准实际像点并沿工字形以哈达玛测量矩阵编码形式扫描大数值孔径光刻投影物镜波前信息，使用差分测量分离出由平移、倾斜调整误差引起的测量误差，通过小波变换提高信号稀疏度并以压缩感知算法重构实际波前实现大数值孔径波像差拼接缝合技术。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 数值孔径 光刻 投影 物镜 波像差 拼接 缝合 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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