[发明专利]晶体生长炉产线及检测方法在审
| 申请号： | 202211315539.7 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115364596A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;朱亮;叶钢飞;倪军夫;石明智;王小飞 | 申请（专利权）人： | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/46 | 分类号： | B01D46/46;B01D46/90;C30B15/20;C30B29/06;G01D21/02 |
| 代理公司： | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人： | 赵杰香 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶体生长炉产线，包括：晶体生长炉；第一抽滤系统，包括过滤机构和抽空机构，过滤机构设置在抽空机构和晶体生长炉之间；第二抽滤系统；集尘系统，用于清理过滤机构中的氧化物；晶体生长炉还用于检测抽空机构的抽空速度；当晶体生长炉进入工作状态后，过滤机构检测晶体生长炉中产生的氧化物的重量变化，并计算氧化物含量；若满足第一条件和第二条件中至少之一时，第一抽滤系统切换为第二抽滤系统，此时，第二抽滤系统为晶体生长炉进行抽空和过滤，第一抽滤系统进入清理模式。通过上述设置，可以实现晶体生长炉产线的不需要停机即可切换抽空和过滤的装置，并实现晶体生长炉产线的在线实时异常检测。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 炉产线 检测 方法 | ||
【主权项】：
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