[发明专利]一种晶体生长炉复投送料装置有效
| 申请号： | 202211315528.9 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115369477B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;朱亮;傅林坚;张俊;叶钢飞;倪军夫;李玉刚 | 申请（专利权）人： | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人： | 赵杰香 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶体生长炉复投送料装置，送料装置包括：第一料仓，用于盛放硅料；送料机构，用于将硅料输送至晶体生长炉中；驱动机构，用于驱动送料机构；晶体生长炉包括坩埚，坩埚用于接收送料机构输送的硅料，硅料能够在坩埚中形成硅液；其特征在于，当满足以下条件中至少之一时送料机构停止投料：第一料仓的重量小于等于第一预设重量、坩埚的重量大于等于第二预设重量、坩埚内硅液的液面高度大于等于第一预设高度、送料装置的送料时间大于等于第一预设时间；送料机构包括用于输送硅料的螺旋轴，当送料机构停止投料后，螺旋轴反向旋转，以使硅料向远离晶体生长炉的方向输送。通过上述设置，可以防止送料机构发生黏料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 投送 装置 | ||
【主权项】：
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