[发明专利]横向激励薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211312423.8 | 申请日： | 2022-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN115694403A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 刘建生;张树民 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 杜德海 |
| 地址： | 310015 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种横向激励薄膜体声波谐振器及其制备方法，横向激励薄膜体声波谐振器包括压电板、叉指换能器、若干镂空槽和介电材料，镂空槽设在压电板的正面，若干镂空槽分别设在靠近两个汇流条的位置，且位于叉指电极的末端附近，介电材料声速低于压电板声速，介电材料包括填充在镂空槽内的填充介电材料。本发明提供的横向激励薄膜体声波谐振器及其制备方法通过设置镂空槽形成强烈的活塞模式，并在镂空槽内填充低声速介电材料，改善了具有活塞模式结构的横向激励薄膜体声波谐振器的结构强度和散热能力，利于未来高功率器件的设计。 | ||
| 搜索关键词： | 横向 激励 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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