[发明专利]一种极化定常性铁电薄膜的分析方法及制备方法在审
| 申请号： | 202211310691.6 | 申请日： | 2022-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN116106367A | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 廖敏;唐艺玮;曾斌建 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01N27/22;G01N1/28;G01R31/00;H01L21/28;H01L29/51 |
| 代理公司： | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 韩迎之 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种极化定常性铁电薄膜的分析方法及制备方法，涉及铁电薄膜技术领域，本发明包括以下步骤：制备铁电电容器；对所述铁电电容器进行电学性能测试，得到所述铁电电容器唤醒后的第一电滞回线和第一介电常数；对唤醒后的铁电电容器施加去极化电场，并进行静置处理；获取静置处理后铁电电容器的第二电滞回线和第二介电常数；分析第一电滞回线和第二电滞回线，确定电荷漂移或扩散对极化的影响。本发明可以精确分析氧化铪基铁电薄膜中的带电缺陷尤其是氧空位对极化值的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 极化 常性 薄膜 分析 方法 制备 | ||
【主权项】：
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