[发明专利]显影装置在审

专利信息
申请号: 202211306714.6 申请日: 2022-10-25
公开(公告)号: CN115629524A 公开(公告)日: 2023-01-20
发明(设计)人: 练文军 申请(专利权)人: 深圳天华机器设备有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 代理人: 许铨芬
地址: 518000 广东省深圳市坪*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请的实施例提供了一种显影装置,用于对生产板喷淋药水,以实现生产板的图形转移,显影装置包括支架结构、输送结构以及喷淋结构。由于生产板沿铅锤方向放置,喷淋在板面的药水由于重于作用,向下流动,药水对板面下方的线路会生产影响,导致显影不均匀;本显影装置安装的喷管平行于输送方向,在不同高度安装喷管,单独控制进水,根据显影效果调节每条喷管的喷淋压力及流量,保证整个板面显影的均匀性;在此基础上喷淋架增加上下摆动装置,消除喷淋管设置盲区,改善显影效果;传动系统采用磁传动系统,消除现有齿轮传动产生的磨擦碎屑,保证药水不受污染,保持药水的干净度,增加产品良率。
搜索关键词: 显影 装置
【主权项】:
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