[发明专利]显影装置在审
申请号: | 202211306714.6 | 申请日: | 2022-10-25 |
公开(公告)号: | CN115629524A | 公开(公告)日: | 2023-01-20 |
发明(设计)人: | 练文军 | 申请(专利权)人: | 深圳天华机器设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人: | 许铨芬 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请的实施例提供了一种显影装置,用于对生产板喷淋药水,以实现生产板的图形转移,显影装置包括支架结构、输送结构以及喷淋结构。由于生产板沿铅锤方向放置,喷淋在板面的药水由于重于作用,向下流动,药水对板面下方的线路会生产影响,导致显影不均匀;本显影装置安装的喷管平行于输送方向,在不同高度安装喷管,单独控制进水,根据显影效果调节每条喷管的喷淋压力及流量,保证整个板面显影的均匀性;在此基础上喷淋架增加上下摆动装置,消除喷淋管设置盲区,改善显影效果;传动系统采用磁传动系统,消除现有齿轮传动产生的磨擦碎屑,保证药水不受污染,保持药水的干净度,增加产品良率。 | ||
搜索关键词: | 显影 装置 | ||
【主权项】:
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