[发明专利]基板处理装置及方法在审
| 申请号： | 202211303218.5 | 申请日： | 2022-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN116409061A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 金成昊;黄宝渊;文彰振;朴率民;金想锡 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/07 | 分类号： | B41J2/07;B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了即使生产型号改变也能够维持生产量的基板处理方法。所述基板处理方法包括：使基板位于悬浮台上；测量所述基板与喷墨头模块之间的距离；以及基于所测量的所述距离，改变将从所述喷墨头模块排出的墨的排出速度。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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