[发明专利]一种磷化铟的合成方法在审
| 申请号： | 202211301629.0 | 申请日： | 2022-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN115537921A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 陈伟杰;周铁军;齐正阳 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/08 | 分类号： | C30B28/08;C30B29/40;C23C18/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及化合物半导体材料领域，具体是一种磷化铟的合成方法。本发明提供了一种磷化铟的合成方法，包括：在石英舟内表面形成In |
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| 搜索关键词： | 一种 磷化 合成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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