[发明专利]一种抛光垫厚度和平面度在线测量装置及方法在审
| 申请号： | 202211296005.4 | 申请日： | 2022-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN115682995A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 康仁科;朱祥龙;董志刚;贾玙璠;杨垒 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B7/06 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 鲁保良;李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光垫厚度和平面度在线测量装置及方法，所述测量装置包括激光测距传感器、n个电涡流测距传感器、n个测量晶片单元和进给单元。本发明通过激光测距传感器实时获得激光测距传感器测头与测量晶片上表面和下表面距离，其中激光测距传感器测头与测量晶片下表面距离能反映抛光垫表面各点高度，计算能得抛光垫平面度，激光测距传感器测头与测量晶片上表面和下表面距离之差为测量晶片厚度。本发明采用间接测量的方法，消除测量对抛光过程的影响，避免探头损耗，并且测量过程不受抛光液干扰，能克服抛光垫多孔材质和开槽设计造成测量精度低的问题，本发明采用标准光学平晶标定，以补偿运动误差和装调误差，本发明中测量晶片单元中采用砝码加载方式，结构简单可靠，加载精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 厚度 平面 在线 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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