[发明专利]一种空间三轴运动检测的双极板电容传感器及装配装置在审
| 申请号： | 202211279955.6 | 申请日： | 2022-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN115638716A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 闫鹏;孟令臣 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 李琳 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种空间三轴运动检测的双极板电容传感器及装配装置，包括三对两两正交的双极板，每对双极板均包括一个动极板片和一个静极板片，动极板片安装于动极板固定座上，静极板片安装于静极板固定座上，动极板固定座用于安装在运动系统的动子端，静极板固定座用于安装在运动系统的固定端，动极板固定座能够相对于静极板固定座在安装双极板的方向上运动，进而带动每对双极板间的相对移动，通过检测每对双极板间的电容值变化来进行微位移测量。可以实现空间三轴微位移的精密高动态测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 运动 检测 极板 电容 传感器 装配 装置 | ||
【主权项】：
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