[发明专利]一种高集成光电一体化的光控相控阵前端在审
| 申请号： | 202211264453.6 | 申请日： | 2022-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN115616763A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 韩威;谭吉锋;杨旭;刘子龙;闫瑞涛;王鹏毅;夏双志 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;H01S5/40;H01S5/00;H01S5/02 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆;曲佳颖 |
| 地址： | 050081 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种高集成光电一体化的光控相控阵前端，应用于光控相控阵领域。基于光控相控阵前端工作原理，提出三维堆叠垂直互联、稳定温度控制的瓦片式结构设计方案。通过LTCC基板低成本易布线的优势实现射频、控制信号的统一规划转接，利用硅基异构集成技术充分发挥硅基集成度高、高密度布线的优点，将光电信号处理功能集成在同一层内，采用TSV技术实现层间信号传输提高信号稳定性与一致性。本发明突破三维微波信号高效传输、高性能集成化微组装、高密度微波馈入路径、高频陶瓷制备工艺等技术，获得高集成性、高稳定性的光电一体化的光控相控阵前端。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 光电 一体化 光控 相控阵 前端 | ||
【主权项】：
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