[发明专利]一种硅靶材与铝合金背板的钎焊方法在审
| 申请号： | 202211235810.6 | 申请日： | 2022-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN115488460A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;周鹏飞;宋阳阳 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/00 | 分类号： | B23K1/00;B23K1/20;B23K103/10 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 徐浩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅靶材与铝合金背板的钎焊方法，所述钎焊方法分别对硅靶材和铝合金背板进行预处理，得到处理后硅靶材和处理后铝合金背板；之后，处理后硅靶材进行第一超声浸润处理，得到半成品硅靶材；处理后铝合金背板依次经钢刷浸润处理、第二超声浸润处理、涂抹铟焊料处理和第三超声浸润处理，得到半成品铝合金背板；最后，将熔化后的铟焊料放置在半成品铝合金背板的表面后，依次放置铜丝和半成品硅靶材进行扣合组装，得到成品靶材组件。本发明所述的钎焊方法得到的靶材组件抗拉强度高且焊接结合率高，适合大规模工业化推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅靶材 铝合金 背板 钎焊 方法 | ||
【主权项】：
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