[发明专利]基于光学显微成像的离子束加工方法有效
| 申请号： | 202211206312.9 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115575364B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 徐涛;纪伟;李尉兴;卢婧;肖珂 | 申请（专利权）人： | 中国科学院生物物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 100101*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于光学显微成像的离子束加工方法，涉及光学显微成像、离子束加工、扫描电子显微成像、电子断层扫描三维重构成像等技术领域，包括：利用离子束对样品表面进行标记，得到配准基准图形；对样品进行三维光学成像，得到第一三维光镜图像；将第一三维光镜图像投影到离子束的切割角度，基于配准基准图形确定待研究目标在第一三维光镜图像中的第一位置；对样品进行离子束成像，得到离子束激发的图像，并根据第一位置确定待研究目标在离子束激发的图像中的第二位置；根据第二位置对样品进行减薄，得到包含研究目标的第一切片。该离子束加工方法操作简单，可重复性强且定位精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光学 显微 成像 离子束 加工 方法 | ||
【主权项】：
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