[发明专利]一种用于超长管件内壁磁控溅射涂层系统及方法在审
| 申请号： | 202211199593.X | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115418606A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 张而耕;陈强;梁丹丹;周琼;黄彪;张帆;孙思叡;孙国庆;赵志国;王晓宇;施舒扬 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学;上海名古屋精密工具股份有限公司;上海紫日包装有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/35;C23C14/50;C23C14/02 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 廖程 |
| 地址： | 201418 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于超长管件内壁磁控溅射涂层系统及方法，包括涂层腔体、旋转支架、加热管、上盖体、固定套、管状靶材、冷却水管以及环形磁铁，所述涂层腔体开设有抽气端及进气端，与上盖体通过O型密封圈密封连接；所述加热管通过加热管固定架与涂层腔体内壁连接；所述冷却水管置于管状靶材内部并具有第二进水端，管状靶材具有第二出水端；所述涂层腔体底部开设有用于安装旋转支架的通孔，旋转支架与涂层腔体通过旋转密封连接；所述环形磁铁均匀固定连接于冷却水管外表面产生均匀磁场。与现有技术相比，本发明实现了在超长管件内壁沉积高性能防护涂层，解决了管件内壁抗磨、防腐性能差等技术难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 超长 内壁 磁控溅射 涂层 系统 方法 | ||
【主权项】：
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