[发明专利]基于单弹光调制自反馈的超高速椭偏精确测量装置及方法

摘要

本发明属于椭偏精确测量装置及方法技术领域，具体涉及一种基于单弹光调制自反馈的超高速椭偏精确测量装置及方法，所述光源的光路方向上依次设置有起偏器、四分之一波片、被测样品，所述被测样品的反射光路上依次设置有弹光调制器、检偏器、探测器，所述弹光调制器电性连接有弹光调制器驱动控制及多路数字锁相放大电路。本发明通过对单个弹光调制调制后的光电信号进行多倍频信号锁相放大，以弹光调制器驱动频率为参考，获得一倍频、二倍频、三倍频、四倍频的信号幅值，结合理论计算实时获得两个弹光调制器自身长期工作温度影响及环境影响导致调制相位幅值，进而实现被测样品的椭偏参数Δ和Ψ的精确测量。