[发明专利]高硬度与高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层的制备工艺在审
| 申请号： | 202211164051.9 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN115404438A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 王铁钢;朱建博;王重阳;刘艳梅;徐远剑 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）;天津亚盛工业技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/35;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种高硬度与高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层的制备工艺，属于涂层技术领域。该工艺采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流复合溅射技术沉积纳米多层复合涂层，沉积时本底真空6×10 |
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| 搜索关键词： | 硬度 耐磨性 alcrsin alcrmosin 纳米 多层 复合 涂层 制备 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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