[发明专利]用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法有效
| 申请号： | 202211147143.6 | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN115475499B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 孙昊;荣命哲;唐猷成;印天鹏;吴翊;郭运顺;龙虎 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;四川义结科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D53/32 | 分类号： | B01D53/32;B01D53/68;H05H1/34;H05H1/42 |
| 代理公司： | 北京前审知识产权代理有限公司 11760 | 代理人： | 张波涛;陈旭 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法，用于六氟化硫降解的热等离子体处理方法中，Ar作为载气输入热等离子体发生器中，环形电极电连接直流电源以在Ar载气下生成电弧等离子体区域；待反应的预定比例的SF |
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| 搜索关键词： | 用于 六氟化硫 降解 等离子体 处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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