[发明专利]一种纳米腔光机械谐振器的热应力测量方法有效
| 申请号： | 202211123227.6 | 申请日： | 2022-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN115452215B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 刘申;肖航;陈燕苹;陈培敬;刘博男;王义平 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 温德昌 |
| 地址： | 518060 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米腔光机械谐振器的热应力测量方法，包括：步骤100：制备一纳米腔光机械谐振器，所述纳米腔光机械谐振器包括振子薄膜；步骤200：测量获得所述振子薄膜在不同温度下所对应的谐振频率；步骤300：将所述振子薄膜的谐振频率转化为热应力，并绘制所述振子薄膜的热应力与温度之间的关系曲线。该热应力测量方法用于测量纳米腔光机械谐振器中振子薄膜的热应力，具有测量精度高、可远距离测量、抗电磁干扰、体积小、重量轻、响应速度快、抗恶劣环境等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 机械 谐振器 应力 测量方法 | ||
【主权项】：
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