[发明专利]一种表面洁净的管道管件系统及方法在审
| 申请号： | 202211100179.9 | 申请日： | 2022-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN116146898A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 郭卫强;翁鹏斌 | 申请（专利权）人： | 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F17D5/00;A61L9/20;A61L9/16;A61L2/04;A61L2/10 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 汪莉萍 |
| 地址： | 215331 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于特气管道技术领域，尤其是一种表面洁净的管道管件系统及方法，其包括特气柜，所述特气柜的一侧设有总管道，总管道上设有多个特气管道，所述特气管道的一侧设有连接管和负压真空泵，所述连接管一端与特气管道连接、另一端与负压真空泵的出气口连接，所述连接管上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀，所述连接管上设有截止球阀和真空压力表；通过压力泵将罐内的特气输送至特气柜内，然后通过控制阀门箱，然后通过检测装置对特气进行检测，对其浓度进行检测，然后检测合格再将特气进行输送，输送至各个使用罐内，然后对使用后的特气尾气进行处理，能够很好的对特气进行输送。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 洁净 管道 系统 方法 | ||
【主权项】：
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