[发明专利]一种分子量窄分布且高透光性PHS树脂及其合成方法与应用在审
| 申请号： | 202211092344.0 | 申请日： | 2022-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN116284517A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 李磊;杨美跃 | 申请（专利权）人： | 上海八亿时空先进材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F110/14 | 分类号： | C08F110/14;C08F210/14;C08F212/14;C08F212/08;C08F220/18;C08F8/04;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 董媛 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种分子量窄分布且高透光性PHS树脂及其合成方法与应用及其合成方法与应用。本发明提供的PHS树脂，包含式(I)所示的结构通式；本发明还提供PHS树脂的合成方法，其是以单体A、单体B、单体C和单体D为原料通过阴离子共聚得到的。本发明还提供一种光刻胶，其包括成膜树脂；所述成膜树脂包括所述PHS树脂。本发明所述的PHS树脂兼具分子量窄分布、透光性优异、碱溶性好且热稳定性高的优点，有效解决现有光刻胶的灵敏度相对较低、残膜率较高的问题，满足了集成电路行业发展的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子量 分布 透光 phs 树脂 及其 合成 方法 应用 | ||
【主权项】：
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