[发明专利]表面声波装置在审

专利信息
申请号: 202211088385.2 申请日: 2022-09-07
公开(公告)号: CN115776284A 公开(公告)日: 2023-03-10
发明(设计)人: 垣尾省司;木村悟利 申请(专利权)人: 株式会社压电工作室;国立大学法人山梨大学
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 程纾孟
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种表面声波装置包括由Ca3Ta(Ga1‑xAlx)3Si2O14单晶形成的压电基板以及在所述压电基板形成的表面上形成并且由Al形成的叉指电极。所述叉指电极被配置为在所述压电基板的表面上产生洛夫波型SH波。通过用所述叉指电极的膜厚度除以所述洛夫波型SH波的波长而获得的归一化膜厚度为0.16以下。
搜索关键词: 表面 声波 装置
【主权项】:
暂无信息
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