[发明专利]一种基于发射光谱的低温等离子体浓度软测量方法及装置在审
| 申请号： | 202211076605.X | 申请日： | 2022-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN115524323A | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 倪东;顾子超 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 刘静 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于发射光谱的低温等离子体浓度软测量方法及装置，该方法包括：软测量模型的建立与标定阶段、一般工况下软测量模型的校正阶段和模型的实际应用及校准阶段；通过质谱仪和光谱仪收集数据并进行预处理，使用处理后的数据对具有降维能力的偏最小二乘模型进行训练，再基于仪器采样机理对模型进行修正，最后根据本发明提出的一种借助惰性气体来对模型进行校准的方法来将软测量模型应用于一般反应器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 发射光谱 低温 等离子体 浓度 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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