[发明专利]一种宽带非接触太赫兹近场显微系统在审
| 申请号： | 202211065908.1 | 申请日： | 2022-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN115389453A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 杨锦鹏;韩顺利;杨耀辉;张亭;张文征 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
| 主分类号： | G01N21/3586 | 分类号： | G01N21/3586 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 任欢 |
| 地址： | 266555 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种宽带非接触太赫兹近场显微系统，属于非接触测试技术领域。包括矢量网络分析主机、以及分别与矢量网络分析主机相连接的一号太赫兹S参数测试模块和二号太赫兹S参数测试模块，一号太赫兹S参数测试模块的输出端口连接输入耦合器，二号太赫兹S参数测试模块的输出端口连接输出耦合器，输入耦合器输出参考信号支路和测试信号支路，参考信号支路和测试信号支路输入至输出耦合器，由输出耦合器将参考信号支路和测试信号支路合为一路；测试信号支路上设置有可调耦合谐振近场探针，可调耦合谐振近场探针用于对样品进行近场探测。本发明可以实现微观尺度下待测物质介电属性微小变化的宽带探测，在宽频带内实现探测灵敏度的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽带 接触 赫兹 近场 显微 系统 | ||
【主权项】：
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