[发明专利]一种电极清洁方法在审
| 申请号： | 202211056467.9 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115446034A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 李志强;李华胜;赵义党 | 申请（专利权）人： | 珠海恒格微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 李宇亮 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市横琴新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供的电极清洁方法包括以下步骤：S1，定位电极件；S2，将激光射枪放置于支撑架，激光射枪的激光口朝向电极件；S3，提起激光射枪，以两个红点合在一起为基准而调整激光射枪的枪头的高度；S4，同时按压激光射枪的把手的两个按钮；S5，摆动枪头，使激光扫至电极件以对其进行清洁。以激光对电极进行清洁，从而无需采用化学清洗，无需采用复杂的工艺流程、产线设备以防止化学清洗物质的毒性对产线人员的健康造成损坏，而且，防止产生造成污染的废料，不必考虑对厂房设置极高排污处理性能，总体上降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 清洁 方法 | ||
【主权项】：
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