[发明专利]一种气浮精密机电系统气膜建模方法

摘要

本发明属于机电控制相关技术领域，并公开了一种气浮精密机电系统气膜建模方法。该方法包括下列步骤：S1构建分数阶组件，并将该分数阶组件与弹簧进行连接，以此获得气膜模型；S2对待处理的气浮运动平台进行动态测试，获得在频域下该待处理的气浮运动平台的激振力与位移/加速度的关系，利用该关系计算所述气膜模型中的未知参数；S3利用所述未知参数求解所述气膜模型对应的等效刚度和等效阻尼，以此确定气浮运动平台的运动方程和传递函数，即得到气浮精密机电系统的气膜等效模型。通过本发明，解决气浮精密系统控制过程中的气膜动态特性精密、快速建模问题，能够对气浮运动平台的主动抑制提供有效精确的理论模型基础。