[发明专利]用于散射式近场扫描成像收发设计的二三维联合仿真方法在审

专利信息
申请号: 202211053184.9 申请日: 2022-08-31
公开(公告)号: CN115420705A 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 葛书岐;张德海;彭召敏 申请(专利权)人: 中国科学院国家空间科学中心
主分类号: G01N21/3581 分类号: G01N21/3581;G06F30/20
代理公司: 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 代理人: 张红生;杨青
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了用于散射式近场扫描成像收发设计的二三维联合仿真方法,该方法包括:基于镜像偶极子理论模型,建立三维模型,并根据剖面建立二维模型;分别在二维和三维模型中,通过改变针尖与样品间距离模拟针尖高频周期性运动,在有样品和无样品的情况下,得到近场电场强度及散射功率强度;在针尖曲率半径大于设定阈值时,在三维模型中,改变三维模型边长,得到不同光斑大小下的散射功率强度;在二维模型中,改变针尖曲率半径,得到不同针尖曲率半径下的近场电场强度;步骤s5)在针尖曲率半径大于设定阈值时,根据得到的散射功率强度和近场电场强度,建立两者关系,得到在针尖曲率半径小于阈值时的散射功率强度。
搜索关键词: 用于 散射 近场 扫描 成像 收发 设计 三维 联合 仿真 方法
【主权项】:
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