[发明专利]一种微细结构仿形工具恒力非接触抛光方法及装置有效
| 申请号： | 202211051440.0 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115383610B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 郭江;张蒙;张鹏飞 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学;大连理工大学宁波研究院 |
| 主分类号： | B24B31/00 | 分类号： | B24B31/00;B24B1/04;B24B31/12;B24B41/00;B24B47/22 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 许明章;王海波 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种微细结构仿形工具恒力非接触抛光方法及装置，抛光过程中，首先，将工件固定于抛光液储存装置内，通过纵向压力调整平台使仿形抛光工具位于工件上方，打开横向压力调整控制器、压力数据分析模块、纵向压力调整控制器、压力数据采集器，根据抛光要求调整压力数据采集器的范围；保证工件完全浸没在抛光液中，打开抛光液循环装置。其次，打开工件扫描抛光平台，使贴有抛光垫的仿形抛光工具先沿工件一侧移动。再次，使抛光工具继续下降至抛光力达到设定范围，同时横向压力调整平台左右移动实现对抛光力的实时调整完成对微结构工件一侧的抛光。最后，利用横向压力调整平台调整工件位置，使抛光工具其靠近工件另一侧完成抛光。本发明可以结构简单，使用方便，在保证面形的前提下达到较低的粗糙度水平，可以达到更好的面形精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微细 结构 工具 恒力 接触 抛光 方法 装置 | ||
【主权项】：
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