[发明专利]一种刷片式晶圆清洗机刷头机构有效
| 申请号： | 202211050853.7 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115106315B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 刘国强;蔡超;赵天翔 | 申请（专利权）人： | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/04 |
| 代理公司： | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 储振 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种刷片式晶圆清洗机刷头机构，包括刷头本体和带动刷头本体升降的摆臂机构，摆臂机构包括驱动组件、连杆组件和壳体，驱动组件与连杆组件沿壳体长度方向分布的一端相连并带动连杆组件垂直于壳体所形成的转动面枢转，连杆组件远离驱动组件的另一端与刷头本体相连；刷头本体包括与连杆组件相连的底座和由底座下表面伸出的毛刷，底座随连杆组件运动过程中毛刷的底面始终平行于晶圆所在的平面，毛刷的底面与晶圆形成间隙，毛刷底面与晶圆表面之间的距离于清洗过程中保持恒定。本发明解决了现有技术中摆臂带动刷头竖直升降以及转动升降所存在的占用较大工作空间以及对工作空间造成污染的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刷片式晶圆 清洗 机刷头 机构 | ||
【主权项】：
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