[发明专利]微加工超声换能器器件的自适应腔体厚度控制在审
| 申请号： | 202211046742.9 | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN115367696A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 缪凌云;刘建伟;基思·G·菲费 | 申请（专利权）人： | 蝴蝶网络有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00;B06B1/02;B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡胜有;孙雅雯 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微加工超声换能器器件的自适应腔体厚度控制。一种形成超声换能器器件的方法包括：在衬底上形成膜堆并将该膜堆图案化，该膜堆包括金属电极层和形成在金属电极层上的化学机械抛光(CMP)停止层；在该图案化的膜堆上形成绝缘层；将该绝缘层平坦化到该CMP停止层；测量该CMP停止层的剩余厚度；以及在该图案化的膜堆上形成隔膜支撑层，其中，该隔膜支撑层形成的厚度取决于该CMP停止层的测得的剩余厚度，使得该CMP停止层和该隔膜支撑层的组合厚度对应于期望的换能器腔体深度。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 超声 换能器 器件 自适应 厚度 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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