[发明专利]一种锥面传输功率的旋转阴极端头在审
| 申请号： | 202211032345.6 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115287618A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 游锦山 | 申请（专利权）人： | 中科纳微真空科技（合肥）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230061 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种锥面传输功率的旋转阴极端头，包括用于连接靶材的驱动轴，驱动轴为导电材料制成，还包括电触头，电触头、驱动轴两者通过锥面电接触配合，且电触头不随驱动轴转动，外部电源依次通过电触头、驱动轴与靶材电连接。本发明的优点为传输的功率更大，结构更可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锥面 传输 功率 旋转 阴极 端头 | ||
【主权项】：
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