[发明专利]真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机有效
| 申请号： | 202211021727.9 | 申请日： | 2022-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN115431169B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 曹健;赵英伟;郝晓亮;王秀海;马培圣;张文雅;文黎波;吴爱华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/10;B24B37/30;B24B29/02;B24B55/00;B24B1/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 郭乐 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机，属于半导体技术领域，包括：轴套、内套筒、轴承以及分体端盖，轴套具有上连接段和下连接段，上连接段内的上通孔的孔径大于下连接段的下通孔的孔径，上通孔和下通孔的相接处构成支撑平台；内套筒设置于上通孔内；其中，上连接段上设有用于真空管路的安装孔，内套筒上设有抽气孔；轴承设置于支撑平台上，用于连接载片轴；分体端盖封装于上通孔的上端，对内套筒内的真空腔构成密封。本发明提供的真空连接转换装置，利用轴承保证载片轴转动的速度的均匀性，能够提升载片抛光面的均匀性，避免后序制作的产品报废，提高产品的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 连接 转换 装置 抛光 方法 抛光机 | ||
【主权项】：
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