[发明专利]运用于12英寸回收片盒的清洗工艺有效
| 申请号： | 202211018423.7 | 申请日： | 2022-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN115502159B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 陈坚 | 申请（专利权）人： | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/28 | 分类号： | B08B9/28;B08B3/12;F26B5/04;F26B5/08;F26B20/00;F26B21/00;F26B25/18 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相权 |
| 地址： | 311201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种运用于12英寸回收片盒的清洗工艺，所属回收片盒清洗技术领域，包括如下操作步骤：第一步：纯水喷淋预清洗去除表面脏污。第二步：超音波浸泡清洗，便于更好的去除回收片盒上的脏污。第三步：进行最终喷淋清洗，片盒盒盖向下，底部出水口想片盒内室喷淋超纯水。第四步：连续进行若干次烘干处理，对片盒进行干燥。第五步：真空干燥，通过真空的方式去除片盒内部残留的水汽。第六步：片盒从真空干燥腔结束以后，进入缓冲静置区，FFU由上往下吹扫，对片盒起到冷却降温的处理。第七步：缓冲静置结束后，取下片盒的盒体与盒盖，在离子棒正下方区域进行组装。实现对回收片盒进行比较彻底的清洗与干燥，保证片盒内部无湿气残留。 | ||
| 搜索关键词： | 运用于 12 英寸 回收 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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