[发明专利]一种激光扫描加工系统及方法在审
申请号: | 202211004785.0 | 申请日: | 2022-08-22 |
公开(公告)号: | CN116626905A | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 程晓伟;朱凡;陆红艳 | 申请(专利权)人: | 帝尔激光科技(无锡)有限公司 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09 |
代理公司: | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人: | 张英 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于激光扫描加工系统,包括:沿光路依次设置的激光器、扩束镜、整形器、空间滤波系统、扫描加工系统;其中,激光器出射基模高斯光束;扩束镜将所述高斯光束扩束至预设直径后入射到所述整形器;整形器为衍射器件对扩束后的高斯光束进行相位调制,以整形得到能量均匀分布的平顶光束;空间滤波系统达到衍射极限光学性能,其对相位调制后的光束进行成像、低通滤波和准直,以除去所述平顶光束能量分布的次级衍射峰;扫描加工系统对空间滤波系统出射的光束进行扫描和聚焦,得到无旁瓣的光斑。其可以解决现有激光扫描系统使用整形光斑加工,当光斑尺寸接近衍射极限时光斑四周出现次级衍射峰,加工出现旁瓣,影响加工效果的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 扫描 加工 系统 方法 | ||
【主权项】:
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