[发明专利]一种动态配气系统、气体配气方法及气液配气方法

摘要

本发明涉及标准气体发生技术领域，特别是涉及一种动态配气系统、气体配气方法及气液配气方法。该动态配气系统用于配置特定浓度的混合气体，包括：混合装置、输送装置、切换装置以及控制器。混合装置包括混合管路以及加热机构。混合管路用于将定量的目标气体或目标液体与定量的载气混合以进行动态稀释配气，得到混合气体并由出口排出。加热机构用于加热并蒸发进入混合输送管路内的目标液体。输送装置包括载气输送机构、气体输送机构以及液体输送机构。切换装置用于将气体输送管路和液体输送管路的其中一者切换至与混合管路连通，同时将其中另一者切换至与混合管路断开。该动态配气系统具有配气量程大、效率高、浓度范围广以及种类多的技术效果。