[发明专利]数字全息计量系统

摘要

本发明提供了一种数字全息计量系统，其包括外差光源、干涉光学装置和传感器装置。所述外差光源提供不同的对应频率和波长的组合激光光束(例如，每个组合光束可包括对应波长激光光束和对应频移激光光束，其可以是正交偏振的)。所述干涉光学装置利用所述组合光束来提供用于对工件成像的输出，所述输出包括干涉光束。所述传感器装置包括二向色组件，所述二向色组件将所述干涉光束分离以引导至相应的飞行时间传感器。利用来自所述飞行时间传感器的输出来确定测量值(例如，可利用所述飞行时间传感器的所述输出来确定到工件上的表面点的测量距离等)。