[发明专利]关键尺寸的测量方法、设备及关键尺寸的分级定位方法在审
| 申请号： | 202210981509.3 | 申请日： | 2022-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN115628685A | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 田东卫;温任华 | 申请（专利权）人： | 魅杰光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 无锡知之火专利代理事务所(特殊普通合伙) 32318 | 代理人： | 朱爱进 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国(上海)*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明主要涉及到关键尺寸的测量方法、设备及关键尺寸的分级定位方法。将载有晶圆的运动平台移动到关键尺寸的待测量点；在第一倍镜视野下将视觉匹配到一个第一对准模板；运动平台依据第一对准模板从而移动至第一相对位置，并确定一个待测的关键尺寸在第一对准程度下的精确位置。第一倍镜切换到第二倍镜，在第二倍镜视野下将视觉匹配到一个第二对准模板；运动平台依据第二对准模板从而移动至第二相对位置，并确定待测的关键尺寸在第二对准程度下的精确位置，然后对关键尺寸进行量测。 | ||
| 搜索关键词： | 关键 尺寸 测量方法 设备 分级 定位 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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