[发明专利]一种集成嵌入式非均匀微通道的反射式光栅结构在审
| 申请号： | 202210975142.4 | 申请日： | 2022-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN115332926A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 曹红超;晋云霞;汪瑞;孔钒宇;张益彬;王云坤;杨晓东;孙静 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01S3/08 | 分类号： | H01S3/08;H01S3/10 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种集成嵌入式非均匀微通道的反射式光栅结构，其特征在于整个结构由上而下依次是光栅层、嵌入式非均匀微通道层、带有冷却液进出口的密封层。其中，非均匀微通道冷却层直接嵌入在光栅层下方的光栅基板上，其结构是依据入射在光栅表面的激光强度空间分布、光栅基板材料/几何尺寸等参数设计，微通道的空间间隔、通道宽度均成线性分布，而刻蚀深度为线性或高斯分布。本发明面向高能激光光谱合束、超强超短激光脉冲压缩等领域中使用的反射式光栅均匀热控制需求，提出了一种集成嵌入式非均匀微通道的反射式光栅结构，解决了因入射激光强度空间分布不均匀、光栅基板表面热传导不均等因素引起的光栅表面局部温升过高，进而导致光栅衍射波前畸变大的难题，为强激光作用下光栅表面温升及由此引起的波前畸变调控提供了一种新思路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 嵌入式 均匀 通道 反射 光栅 结构 | ||
【主权项】：
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