[发明专利]载板及延长载板使用寿命的方法在审
| 申请号： | 202210968757.4 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115323345A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 徐磊;魏科胜;王金 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/08;C23C14/02;C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 杨立伟 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种载板及延长载板使用寿命的方法。延长载板使用寿命的方法包括以下步骤：获取已在产线上使用预设次数的载板；对所述载板进行加热处理，以释放所述载板吸附的水汽；在加热后的所述载板的表面设置隔水保护层。上述载板及延长载板使用寿命的方法降低了载板水汽，并且使得载板水汽的释放和吸收得到抑制，使得原本因沉积有过厚ITO膜层而需要更换的载板可以被再次循环使用，延长了载板的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 延长 使用寿命 方法 | ||
【主权项】：
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